一、電路板與芯片封裝用銅靶材的定義與核心特性
| 分類 | 詳細描述 |
| 定義 | 以高純度銅或銅基合金制成的薄膜沉積材料，用于電路板互連層及芯片封裝金屬化結構的物理氣相沉積（PVD）、電鍍或化學鍍工藝 |
| 材質類型 | - 高純銅：Cu-OF（無氧銅，純度≥99.99%） |
| - 銅合金：Cu-Ni（抗電遷移）、Cu-Mn（低熱膨脹）、Cu-Sn（高延展性） |
| 性能特點 | ① 超高導電性（電阻率1.68 μΩ·cm） |
| ② 優異抗電遷移性（＞10? A/cm2） |
| ③ 低熱膨脹系數（17×10??/K） |
| ④ 高延展性（延伸率≥40%） |
| 執行標準 | - 國際：ASTM B152（銅板）、SEMI F72（半導體靶材） |
| - 國內：GB/T 5231（加工銅及銅合金） |
| - 行業：IPC-6012（電路板可靠性） |
二、銅靶材關鍵性能參數對比（與其他金屬靶材）
| 性能指標 | 銅靶材（Cu-OF） | 鋁靶材 | 銀靶材 | 金靶材 | 鎢靶材 |
| 密度 (g/cm3) | 8.96 | 2.70 | 10.5 | 19.3 | 19.3 |
| 熔點 (°C) | 1085 | 660 | 961 | 1064 | 3422 |
| 電阻率 (μΩ·cm) | 1.68 | 2.65 | 1.59 | 2.44 | 5.6 |
| 電遷移壽命（h） | ＞10,000 @2MA/cm2 | 5,000 | 8,000 | 15,000 | 20,000 |
| 成本系數（以銅為1） | 1 | 0.6 | 12 | 35 | 4.5 |
三、銅靶材制造工藝與關鍵技術
| 工藝環節 | 關鍵技術 | 效果/指標 |
| 高純提純 | 電解精煉（電流密度300A/m2）+ 區域熔煉 | 純度≥99.999%，氧含量≤5ppm |
| 連續鑄造 | 水平連鑄（溫度1150-1200℃） | 晶粒尺寸≤50μm，無縮孔、氣孔 |
| 精密軋制 | 多輥冷軋機（總變形量≥95%） | 厚度公差±0.01mm，表面粗糙度Ra≤0.1μm |
| 表面處理 | 化學機械拋光（CMP）+ 超聲波清洗 | 表面潔凈度≤0.1顆粒/cm2（＞0.3μm） |
| 綁定技術 | 爆炸焊接（鈦背板結合強度≥250MPa） | 熱導率≥400 W/m·K，循環壽命＞10?次 |
四、加工流程與質量控制
| 工序 | 設備/方法 | 關鍵控制點 |
| 1. 原料電解 | 電解槽（硫酸銅溶液，陰極沉積） | 銅純度≥99.99%，硫含量≤0.001% |
| 2. 熔鑄成型 | 真空感應熔煉爐（1100℃） | 氧含量≤3ppm，晶粒均勻性＞95% |
| 3. 軋制退火 | 冷軋+退火（450℃×2h，氫氣保護） | 抗拉強度≥250MPa，延伸率≥45% |
| 4. 表面精加工 | 數控拋光機（金剛石研磨液） | 平面度≤0.02mm/m，粗糙度Ra≤0.05μm |
| 5. 檢測認證 | ICP-MS（雜質分析）+ EBSD（晶粒取向） | 純度≥99.99%，晶界無偏析、孿晶 |
五、具體應用領域與技術需求
| 應用領域 | 功能需求 | 技術規格 | 代表產品 |
| 高密度互連（HDI） | 微孔鍍銅種子層 | 膜厚0.1-0.5μm，電阻率≤2.0μΩ·cm | Cu-OF靶材（99.999%） |
| 倒裝芯片封裝 | 銅柱沉積（直徑≤50μm） | 深寬比＞5:1，填孔率≥98% | Cu-Sn合金靶材（Sn 2%） |
| 載板封裝 | 再布線層（RDL）金屬化 | 線寬/線距≤5μm，厚度均勻性±3% | 高純銅旋轉靶（Φ300mm） |
| 功率模塊 | 散熱基板鍍層 | 熱導率≥380 W/m·K，結合力≥30MPa | Cu-Mo復合靶材 |
| 柔性電路板 | 可彎曲導電層 | 延展率＞20%，彎折壽命＞10?次 | 納米晶銅靶材（晶?！?0nm） |
六、未來發展方向與創新路徑
| 新興領域 | 技術挑戰 | 創新路徑 | 預期效益 |
| 5G高頻電路 | 降低趨膚效應損耗（＞10GHz） | 納米孿晶銅靶材（孿晶密度＞103/mm2） | 電阻率降低15% |
| 三維封裝 | 高深寬比通孔填充（＞20:1） | 超流體電鍍銅靶材（添加劑優化） | 填孔率提升至99.9% |
| 先進制程（3nm以下） | 超薄阻擋層（≤2nm）界面控制 | Cu-Mn自形成阻擋層靶材（Mn 0.5%-2%） | 界面電阻降低40% |
| 柔性電子 | 低溫沉積（≤150℃）延展性優化 | 非晶銅靶材（添加P、B） | 彎折半徑＜1mm |
| 綠色制造 | 無氰電鍍工藝替代 | 硫酸鹽電鍍銅靶材+有機添加劑 | 毒性廢物減少95% |
七、選購指南及技巧
| 選購維度 | 技術要點 | 推薦策略 |
| 應用適配 | - HDI電路板：選Cu-OF（高純度） | 根據鍍膜設備類型選擇平面靶或旋轉靶 |
| - 三維封裝：選Cu-Sn合金（高延展性） |
| 純度驗證 | 要求ICP-MS報告（Ag、Fe、S≤5ppm） | 優先選擇區域熔煉+電解精煉工藝 |
| 晶粒結構 | 等軸晶占比＞90%（EBSD分析） | 避免柱狀晶導致鍍層電阻不均勻 |
| 綁定質量 | 背板熱膨脹系數匹配（如鉬背板CTE 4.8×10??/K） | 選擇爆炸焊接或熱等靜壓綁定技術 |
| 成本優化 | 厚度≥10mm可翻面使用（壽命延長50%） | 批量采購時協商舊靶材回收服務 |
總結
電路板與芯片封裝用銅靶材以超高導電性、低電阻率、優異工藝兼容性為核心競爭力，在高端電子制造中不可替代。未來技術將聚焦納米結構調控、三維集成工藝及綠色制造三大方向，結合智能化鍍膜控制（如實時電阻監測），推動電子器件向更高密度、更低功耗發展。選購時需嚴格核查純度證書（ICP-MS）、晶粒結構（TEM）及綁定界面質量（超聲波檢測），優先選擇通過SEMI認證且支持5G/6G高頻應用的供應商。
