鈦鋁靶材是以鈦（Ti）和鋁（Al）為主要成分，通過特定工藝制備而成的合金濺射靶材，是物理氣相沉積（PVD）技術的關鍵“源頭”材料。通過磁控濺射、電弧離子鍍等工藝，鈦鋁靶材被氣化并沉積在部件表面，形成一層兼具輕質、高強度、耐高溫、抗氧化的鈦鋁或鈦鋁氮（TiAlN）等功能涂層，是提升航空航天裝備性能、可靠性與壽命的核心手段之一。
區別于傳統工具鍍膜領域，航空航天應用對鈦鋁靶材提出了極致的性能要求：它不僅需要靶材本身具備超高純度、無缺陷和高致密度，更要求其沉積出的薄膜能在極端環境（如超過800℃的發動機熱端、高鹽霧海洋大氣、太空高低溫循環）下長期穩定工作，其技術復雜度和認證門檻遠高于普通工業領域。
一、 定義與核心材質
1. 定義：
航空航天用鈦鋁靶材，特指為滿足航空航天極端服役環境要求而設計制造的高性能鈦鋁合金濺射源。其核心功能是通過PVD工藝，在航空發動機葉片、機匣、航天器結構件、精密儀器表面沉積出輕質、高強、耐高溫氧化和抗腐蝕的鈦鋁基防護涂層或功能薄膜。
2. 核心材質與相組成：
其材質并非簡單的鈦鋁機械混合，而是通過精確的原子配比（常用鈦鋁原子比從90:10至50:50不等），形成以金屬間化合物為主體的高性能合金。
關鍵物相：主要包含 γ-TiAl 和 α?-Ti?Al 相。γ-TiAl相提供良好的高溫強度和抗氧化性，α?-Ti?Al相則有助于提升合金的室溫塑性和韌性。最新研發的第三代γ-TiAl合金是當前的研究與應用前沿，旨在進一步改善其熱加工性能和使用可靠性。
典型特性：密度約為4.54 g/cm3，遠低于鎳基高溫合金，可實現顯著的減重效果；熔點高達1942K（約1669℃），具備優異的高溫潛力。
與涂層的聯系：在反應性濺射中（如通入氮氣），該靶材用于沉積鈦鋁氮（TiAlN）納米復合涂層，其高溫硬度、抗氧化性（可達800℃以上）遠超普通的TiN涂層，是航空部件防護的關鍵。
二、 關鍵性能特點
航空航天領域對鈦鋁靶材的性能要求是全方位且極其嚴苛的，具體體現在以下幾個方面：
| 性能維度 | 具體要求與描述 | 對航空航天應用的意義 |
| 高溫穩定性與抗氧化性 | 涂層必須在800℃以上長期保持穩定，表面能形成致密、附著力強的Al?O?保護膜以阻止進一步氧化。 | 保證發動機渦輪葉片、燃燒室等熱端部件在極端溫度下的使用壽命與可靠性。 |
| 優異的力學性能 | 沉積的涂層需具有高硬度（通常>30 GPa）、高韌性、良好的膜基結合力以及優異的抗熱震疲勞性能。 | 抵御高速氣流沖刷、微小顆粒撞擊（砂蝕、液滴侵蝕）以及頻繁起降帶來的熱循環應力，防止涂層剝落。 |
| 輕量化特性 | 鈦鋁合金靶材及其涂層密度低（約3.6-4.2 g/cm3），是實現減重的理想材料。 | 直接提升飛行器的推重比、燃油經濟性和有效載荷，對航空航天器至關重要。 |
| 靶材本征質量 | 高純度（通?！?9.9%）、高致密度（接近理論密度）、微觀組織均勻（細小等軸晶）。雜質和氣孔會導致涂層產生缺陷。 | 確保濺射過程穩定，沉積的涂層成分均勻、無缺陷，是獲得高性能涂層的前提。 |
| 工藝穩定性 | 在反應濺射（如制備TiAlN）時，靶材應具備良好的“抗中毒”能力，即表面形成化合物后仍能保持穩定的濺射速率，避免工藝波動。 | 保障大規模、重復性生產中涂層性能的高度一致性和可靠性，滿足航空航天的質量體系要求。 |
三、 主要執行標準
目前，針對航空航天用鈦鋁靶材的專用國際或國家標準體系尚在發展和完善中。其生產與驗收主要依據以下幾類規范：
通用材料基礎標準：參考鈦及鈦合金的國標（如GB/T 16598, GB/T 2965）和美軍標（如ASTM B381, AMS規范），對化學成分、雜質含量、力學性能基礎等進行約束。
企業/行業專用技術協議：這是最主要的約束文件。航空發動機制造商（如Rolls-Royce, GE, 賽峰）或航天器主制造商（如波音、空客、中國商飛）會提出極其嚴苛的定制化技術標準，涵蓋從靶材純度、相組成、晶粒度、超聲波探傷等級到涂層最終性能（如結合力、熱震次數、抗氧化溫度-時間曲線）的全套驗收指標。
參考相關領域高標準：由于其高可靠性和高性能要求，部分測試方法和質量體系會參考半導體用高純靶材（如GB/T 44759-2024對高純鎳靶的要求）和核電材料的嚴苛標準。
四、 加工工藝、關鍵技術及流程
高品質航空航天鈦鋁靶材的制備是技術密集型過程，克服了鈦鋁金屬間化合物固有的室溫脆性、難加工等難題。
1. 核心加工流程：
原料處理（高純鈦/鋁粉或電極）→ 熔煉/成型（真空自耗電弧熔煉VAR或粉末冶金）→ 熱機械處理（鍛造、熱擠壓、軋制）→ 均勻化熱處理 → 精密機械加工 → 背板焊接（與無氧銅背板高質量綁定）→ 無損檢測（超聲探傷等）→ 超凈清洗與真空包裝。
2. 關鍵技術環節：
均質化熔煉與成型技術：傳統鑄造易產生偏析和氣孔。目前多采用多次真空自耗電弧熔煉（VAR） 確保成分均勻。對于大尺寸或特殊成分靶材，粉末冶金結合熱等靜壓（HIP） 是重要方向，能有效細化晶粒、提高致密度。
可控的熱機械加工技術：鈦鋁合金熱變形抗力大、加工窗口窄。采用等溫鍛造、熱擠壓（如將Φ76mm鑄錠擠壓成Φ20mm棒材）等先進塑性加工技術，是破碎鑄態組織、獲得均勻細小等軸晶、提升靶材性能的關鍵步驟。
相組成與微觀組織精確調控：通過精確控制熱處理溫度、時間和冷卻速率，調控γ-TiAl和α?-Ti?Al兩相的比例、形貌和分布，從而優化靶材的濺射性能和最終涂層的力學性能。
高質量綁定與無損檢測：采用高溫真空擴散焊等工藝，確保靶材與背板實現冶金結合，界面熱阻低、結合強度高。必須進行100%超聲波探傷，確保內部無分層、氣孔等缺陷。
五、 具體應用領域
| 應用領域 | 具體部件與功能 | 涂層類型與技術要求 |
| 航空發動機高溫部件 | 高壓渦輪葉片、導向器葉片、燃燒室火焰筒、機匣。 | TiAlN基超硬防護涂層。要求涂層具有極高的高溫抗氧化性（>900℃）、優異的抗熱震疲勞性能、良好的抗高溫燃氣腐蝕（硫化、熱腐蝕）能力，以替代或部分替代貴金屬鉑鋁涂層，延長大修間隔。 |
| 飛行器與航天裝備防護 | 飛機起落架、作動筒、航天器蒙皮、發動機艙結構件、高溫緊固件。 | 耐磨耐蝕涂層。利用TiAlN或TiAlCN涂層的高硬度、低摩擦系數和耐鹽霧腐蝕特性，提升部件在復雜大氣環境下的耐磨性和抗腐蝕能力，保障長期服役安全。 |
| 精密器件 | 航天器慣性導航系統陀螺儀、衛星姿態控制飛輪軸承、高速旋轉掃描鏡軸承。 | 減摩增韌與尺寸穩定涂層。要求涂層極低的內部應力、優異的摩擦學性能（低磨損率）、高精度且穩定的膜厚控制，以滿足精密器件對尺寸穩定性和長壽命、高可靠性的極致要求。 |
六、 與其他領域用鈦鋁靶材的對比
| 對比維度 | 航空航天領域 | 工具與模具鍍膜 | 半導體/微電子/顯示面板 | 光伏能源/高溫化工/海洋工程 |
| 核心性能追求 | 極端環境可靠性：高溫氧化抗力、抗熱震、高比強度、長壽命。 | 表面力學性能：高硬度、耐磨性、低摩擦系數，以提升加工效率。 | 薄膜電學/光學性能：特定的電阻率、均勻性、純度，服務于電路或顯示功能。 | 特定環境耐受性：耐化學腐蝕、耐濕熱老化、或特定的光學透射/反射特性。 |
| 典型涂層體系 | 高溫TiAlN、Pt改性的鋁化物涂層、MCrAlY（金屬陶瓷）結合涂層。 | 常規TiAlN、TiAlCrN 等硬質涂層。 | 鈦、鋁、鈦鋁合金薄膜，用于電極、阻擋層等。 | 氧化鈦、氮化鋁等透明導電或耐蝕薄膜。 |
| 對靶材純度要求 | 高（≥99.9%），嚴格控制有害雜質（如O、N、Fe），但略低于半導體。 | 中（99.5%-99.9%），成本控制是關鍵因素之一。 | 極高（99.999%-99.9999%），對堿金屬、放射性元素等有嚴苛限制。 | 中到高，取決于具體應用場景。 |
| 對靶材均勻性要求 | 極高，要求微觀組織（晶粒、相分布）高度均勻，以確保涂層性能一致性。 | 高，但對均勻性的容忍度高于航空航天。 | 極致，要求納米級成分與厚度均勻，直接影響器件良率。 | 高，尤其在大面積鍍膜時。 |
| 技術門檻與成本 | 最高。涉及國防安全，認證周期極長（5-10年），研發與制造成本高昂。 | 中。技術成熟，市場競爭激烈，已高度產業化。 | 極高。設備投資巨大，技術壁壘森嚴，認證嚴格。 | 中到高。取決于技術迭代速度和工況苛刻程度。 |
七、 未來發展新領域與方向
面向新一代動力系統的超高溫涂層材料：
隨著自適應變循環發動機、高超聲速飛行器的發展，對熱端部件涂層耐溫能力提出1100℃乃至更高要求。未來將發展基于TiAl靶材的多元納米復合涂層（如摻雜Y、Hf、Si等元素的TiAlSiYN涂層），利用納米效應和活性元素效應，進一步強化氧化膜的粘附性和涂層的高溫穩定性。
智能化與梯度功能一體化涂層：
開發“結構-功能”一體化智能涂層。例如，利用鈦鋁靶材與其他靶材共濺射，制備具有成分/結構梯度的涂層，使其表層具備最佳防護性能，中間層實現應力緩沖，底層實現與基體的最佳結合。甚至探索具有自修復、自感知（如通過涂層電阻變化監測損傷）功能的智能涂層體系。
增材制造（3D打?。┎考脑?后處理涂層：
鈦鋁合金本身已是3D打印的重要材料。未來，針對復雜拓撲結構的3D打印航空航天部件（如點陣結構散熱器、一體化葉片），開發與之匹配的非視線PVD涂層技術（如高能脈沖磁控濺射HiPIMS、原子層沉積ALD與PVD結合），實現深孔、內腔表面的均勻高性能鍍膜，將是重要方向。
太空環境長效防護與在軌維護技術：
針對空間站、深空探測器、可重復使用航天器，利用鈦鋁基涂層優異的抗原子氧侵蝕、抗空間碎片撞擊、抗高低溫交變和真空紫外輻照性能，開發超長壽命（>15年）的太空環境防護涂層。并研究基于靶材技術的在軌表面修復與強化的可能性。
綠色制造與全生命周期管理：
推廣靶材的回收與再制造技術。如研究將航空航天涂層使用后的廢舊（但仍有很高材料價值）鈦鋁靶材進行回收，通過特定工藝再生為符合要求的靶材，降低成本并符合可持續發展理念。
總而言之，航空航天用鈦鋁靶材及其涂層技術正朝著 “耐溫更高、功能更智、應用更廣、全壽更綠” 的方向發展。它不僅是當前提升航空航天裝備性能的關鍵，更是支撐未來空天技術革命不可或缺的先導性材料。其技術進步將與新型發動機設計、新材料（如陶瓷基復合材料CMC）應用、先進制造工藝深度融合，共同推動航空航天工業進入新的發展階段。
