顯示面板用鈦靶材，是指用于磁控濺射等物理氣相沉積（PVD）工藝，在玻璃基板或柔性基板上制備高性能功能薄膜的高純鈦或鈦合金材料。在顯示面板產(chǎn)業(yè)中，鈦靶材雖非用量最大的靶材，但其憑借優(yōu)異的比強度、穩(wěn)定的電學(xué)性能和良好的薄膜附著力，成為構(gòu)筑高性能薄膜晶體管（TFT）背板、提升顯示品質(zhì)及可靠性的關(guān)鍵支撐材料。隨著顯示技術(shù)向高分辨率、高刷新率、柔性可折疊方向演進(jìn)，對鈦靶材也提出了高均勻性、高穩(wěn)定性與高性價比的綜合要求。
一、 定義與材質(zhì)
定義：顯示面板用鈦靶材是純度通常在 99.99% (4N) 至 99.999% (5N) 范圍的鈦金屬或鈦合金靶材。其在真空腔體內(nèi)被高能粒子轟擊，鈦原子被濺射并沉積在基板上，形成厚度從幾十納米到幾百納米不等的功能薄膜，主要作用于面板的TFT陣列和封裝結(jié)構(gòu)。
主要材質(zhì)：
高純鈦靶材：核心材質(zhì)，純度為4N至5N。常用牌號包括工業(yè)純鈦TA1、TA2（對應(yīng)美標(biāo)Gr1、Gr2）。其核心作用是作為電極材料、粘附層和阻擋層。
鈦合金及化合物靶材：為滿足特定電學(xué)或光學(xué)性能而開發(fā)。
鈦鋁合金靶材：通過合金化調(diào)節(jié)薄膜的電阻率和應(yīng)力，應(yīng)用于特定要求的電極或阻擋層。2025年新發(fā)布的 《YS/T 1811-2025 高純鈦鋁合金靶材》 標(biāo)準(zhǔn)，為這類材料的規(guī)范化提供了依據(jù)。
反應(yīng)濺射化合物：在濺射過程中引入氮氣，從鈦靶直接沉積氮化鈦（TiN），用作高性能的導(dǎo)電膜或擴散阻擋層。
二、 關(guān)鍵性能特點
與半導(dǎo)體用靶材追求極致純度不同，顯示面板用鈦靶材的性能核心是 “大面積均勻”與“穩(wěn)定可靠”。
高純度與可控的雜質(zhì)：純度是基礎(chǔ)，通常要求達(dá)到4N以上。雖然對堿金屬等特定雜質(zhì)的嚴(yán)苛程度低于半導(dǎo)體領(lǐng)域，但仍需嚴(yán)格控制氧、氮等間隙元素含量，以避免薄膜電阻率異常或產(chǎn)生應(yīng)力導(dǎo)致剝落。國內(nèi)領(lǐng)先企業(yè)已能實現(xiàn)低氧超高純鈦靶材的量產(chǎn)。
高密度與低孔隙率：高密度（接近鈦的理論密度4.51 g/cm3）能保證濺射過程中穩(wěn)定的沉積速率和低的顆粒飛濺，從而獲得致密、均勻的薄膜。高密度靶材也能更好地承受大功率、長時間濺射產(chǎn)生的熱應(yīng)力。
均勻細(xì)小的晶粒組織：這是實現(xiàn)大面積鍍膜均勻性的關(guān)鍵。要求晶粒尺寸細(xì)小（通常≤50μm）且分布均勻。細(xì)晶靶材濺射速率更快，沉積的薄膜厚度分布更均勻，這對于數(shù)代線（如G8.6、G10.5）的超大尺寸玻璃基板鍍膜至關(guān)重要。
優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性與焊接質(zhì)量：顯示面板靶材尺寸大（板靶長度可達(dá)2.5米，旋轉(zhuǎn)靶長度可達(dá)4米），在熱循環(huán)下需保持良好的形狀穩(wěn)定性。靶材與銅背板的焊接必須牢固、熱導(dǎo)率高，以確保散熱均勻，防止靶材開裂或變形，延長使用壽命。
三、 主要執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
顯示面板用鈦靶材的生產(chǎn)與驗收遵循通用金屬材料標(biāo)準(zhǔn)，并深度融合下游面板制造商的定制化技術(shù)協(xié)議。
國家與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：主要參考鈦及鈦合金加工產(chǎn)品的通用標(biāo)準(zhǔn)，如化學(xué)成分依據(jù) GB/T 3621，棒材標(biāo)準(zhǔn)依據(jù) GB/T 2965。新興的合金靶材則參考如 YS/T 1811-2025 等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)與客戶定制規(guī)格：這是最主要的依據(jù)。下游面板巨頭（如京東方、華星光電、天馬）會根據(jù)自身產(chǎn)線（第幾代線）、設(shè)備（濺射機型號）和產(chǎn)品規(guī)格（OLED/LCD），對靶材的尺寸、純度范圍、晶粒尺寸均勻性、綁定焊接率等提出極為詳細(xì)的定制要求。例如，為京東方8.6代OLED產(chǎn)線定制的鈦旋轉(zhuǎn)靶材，其規(guī)格就是特定的。
四、 加工工藝與關(guān)鍵技術(shù)
高品質(zhì)顯示面板鈦靶材的制造，融合了精密冶金、壓力加工和特種焊接技術(shù)，其核心在于保證超大尺寸下的組織均勻性。
1. 核心加工流程：
高純原料（海綿鈦或鈦合金配料）→ 真空熔煉（VAR或EB） → 多向鍛造開坯 → 軋制/擠壓成型 → 熱處理（均勻化退火）→ 精密機械加工（成型、鉆孔）→ 背板焊接（核心） → 精密加工至最終尺寸 → 清洗、無塵真空包裝。
2. 關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)：
超大鑄錠均質(zhì)化熔煉技術(shù)：采用真空自耗電弧爐（VAR）或電子束冷床爐（EB），確保數(shù)噸重的大尺寸鈦錠成分均勻、雜質(zhì)可控，這是后續(xù)加工的基礎(chǔ)。
大變形量組織均勻性調(diào)控技術(shù)：通過多道次、大變形量的鍛造和軋制，并結(jié)合中間熱處理，徹底破碎鑄態(tài)組織，獲得細(xì)小、均勻的等軸晶，以滿足超大面板均勻鍍膜的要求。
超大尺寸靶材精密加工與綁定技術(shù)：這是顯示面板靶材特有的技術(shù)壁壘。需要超大型數(shù)控機床進(jìn)行高精度加工，確保平面度和平行度。更重要的是大尺寸平面靶或旋轉(zhuǎn)靶與背板的焊接技術(shù)，必須保證近100%的焊合率、極低的熱阻和長期的循環(huán)可靠性。國內(nèi)企業(yè)已在武漢建立了專攻顯示面板用超大靶材的生產(chǎn)基地。
五、 在顯示面板領(lǐng)域的具體應(yīng)用
鈦靶材在顯示面板中主要扮演“幕后功臣”的角色，集中于TFT背板和封裝環(huán)節(jié)，其應(yīng)用深度與技術(shù)路線緊密相關(guān)。
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 具體功能與作用 | 技術(shù)要求與工藝特點 |
| LCD液晶面板 | 1. TFT陣列中的電極與布線：作為源/漏電極或柵極的組成部分（常與鋁、鉬等構(gòu)成疊層結(jié)構(gòu)），利用其良好的導(dǎo)電性和與硅層的粘附性。
| 要求薄膜電阻率穩(wěn)定，與玻璃基板及其他膜層附著力強。濺射工藝需兼顧沉積速率與膜質(zhì)。 |
| 2. 阻擋層：在多層金屬布線中，薄層鈦或氮化鈦用于防止不同金屬層之間的相互擴散，提高電路可靠性。 |
| LED/OLED面板 | 1. TFT背板電極：在OLED的低溫多晶硅或氧化物TFT背板中，用作高性能的源/漏電極，要求低電阻和高穩(wěn)定性。
| OLED對雜質(zhì)更敏感，要求靶材純度更高、潔凈度更好。工藝需與低溫制程兼容，避免損傷有機材料。 |
| 2. 像素定義層/輔助電極：在部分OLED結(jié)構(gòu)中，用于提升電流分布均勻性。 |
| 面板封裝與屏蔽 | 1. 薄膜封裝中的阻隔層：在柔性O(shè)LED的薄膜封裝中，氮化鈦（TiN） 可作為無機阻隔層，與有機層交替疊加，有效阻擋水氧滲透，延長器件壽命。
| 薄膜封裝要求TiN薄膜極致致密、無針孔，且具有優(yōu)良的柔韌性以適應(yīng)彎折。對濺射工藝的臺階覆蓋能力要求高。 |
| 2. 電磁屏蔽層：在面板背面或邊緣濺射鈦基薄膜，用于電磁干擾屏蔽。 |
六、 與其他領(lǐng)域用鈦靶材的對比分析
顯示面板用鈦靶材在技術(shù)要求和市場特性上，介于頂端的半導(dǎo)體與廣泛使用的裝飾鍍膜之間，形成了獨特的定位。
| 對比維度 | 顯示面板領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體與微電子 | 工具涂層與裝飾鍍膜 | 航空航天/生物醫(yī)學(xué) |
| 核心要求 | 大面積均勻性、高穩(wěn)定性、高性價比。追求在數(shù)平方米基板上膜厚與性能的均一。 | 極致純度（5N5-6N+）、納米級缺陷控制、原子級均勻性。 | 色彩效果、硬度、耐磨性、成本控制。對純度要求最低。 | 生物相容性、比強度、耐極端環(huán)境腐蝕。用于植入物涂層或部件強化。 |
| 典型純度 | 4N (99.99%) 至 5N (99.999%)。 | 5N5 (99.9995%) 至 6N+ (99.9999%以上)。 | 2N8 (99.8%) 至 4N (99.99%)，裝飾常用鈦鋁合金。 | 3N5 (99.95%) 至 4N (99.99%)，更關(guān)注力學(xué)和化學(xué)性能。 |
| 產(chǎn)品形態(tài) | 超大尺寸平面靶（長邊超2米）和長旋轉(zhuǎn)管靶（長度超3米）為主。 | 以圓形平面靶為主，尺寸與硅片對應(yīng)（如12英寸、18英寸），精度要求極高。 | 尺寸規(guī)格靈活多樣，多為中小型矩形或圓形靶。 | 形態(tài)多樣，尺寸依部件而定，多為異型件。 |
| 關(guān)鍵技術(shù)焦點 | 超大鑄錠均勻鑄造、超大靶材的精密加工與無缺陷焊接、高利用率濺射工藝。 | 原子級雜質(zhì)控制、超細(xì)晶粒與特定織構(gòu)（晶向）調(diào)控。 | 反應(yīng)濺射工藝穩(wěn)定性（防靶中毒）、色彩與光澤的重現(xiàn)性。 | 涂層與復(fù)雜基體的結(jié)合強度、在特定環(huán)境下的長期功能可靠性。 |
| 成本與認(rèn)證 | 單靶價值高，認(rèn)證周期長（1-2年），但與半導(dǎo)體相比稍短。面板廠對成本敏感，國產(chǎn)化替代動力強。 | 單靶價值最高，認(rèn)證周期極長（2-3年），技術(shù)壁壘最高。 | 門檻低，認(rèn)證周期短（數(shù)月），市場完全競爭，已高度國產(chǎn)化。 | 認(rèn)證周期長，需滿足嚴(yán)格的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（如航空適航、醫(yī)療器械認(rèn)證）。 |
| 市場格局 | 過去由日美企業(yè)主導(dǎo)，國產(chǎn)化率正快速提升，國內(nèi)龍頭已實現(xiàn)主流G8.6/G10.5產(chǎn)線批量供貨。 | 技術(shù)壁壘最高，由日美企業(yè)（如霍尼韋爾、日礦）主導(dǎo)，國內(nèi)江豐電子等在高端市場實現(xiàn)突破。 | 技術(shù)門檻最低，市場已完全國產(chǎn)化，競爭激烈。 | 高端市場仍以國際企業(yè)為主，國內(nèi)處于應(yīng)用研發(fā)階段。 |
注：在磁記錄與儲能領(lǐng)域，鈦靶主要用于硬盤盤基底層或介質(zhì)層，要求薄膜具有超平滑表面和特定晶體取向，其技術(shù)要求和市場規(guī)模介于顯示與裝飾之間。
七、 未來發(fā)展新領(lǐng)域與方向
適配新一代顯示技術(shù)迭代：
柔性/可折疊/可拉伸顯示：對薄膜封裝用鈦基（如TiN）阻隔層提出更高要求，需要開發(fā)低應(yīng)力、高柔性、高阻隔效率的新型薄膜材料與濺射工藝。
Micro-LED顯示：巨量轉(zhuǎn)移和微米級像素對TFT背板的電流驅(qū)動能力和精度要求更高，需要開發(fā)具有更低電阻率、更高分辨率圖案化能力的鈦基電極材料。
材料體系創(chuàng)新與成本優(yōu)化：
大尺寸旋轉(zhuǎn)靶材普及：旋轉(zhuǎn)靶相比平面靶具有更高的材料利用率和更穩(wěn)定的鍍膜均勻性，是降本增效的主流方向。武漢江豐電子量產(chǎn)交付OLED產(chǎn)線的鈦旋轉(zhuǎn)靶材即是明證。一體成型平面靶也是重要發(fā)展趨勢。
新型合金靶材開發(fā)：開發(fā)具有更低電阻率、更優(yōu)熱穩(wěn)定性或特定功函數(shù)的鈦合金靶材，以替代或優(yōu)化現(xiàn)有純鈦薄膜，滿足更高性能顯示的需求。
產(chǎn)業(yè)鏈深度協(xié)同與全面國產(chǎn)化：
從靶材到設(shè)備的協(xié)同創(chuàng)新：靶材制造商與面板廠、鍍膜設(shè)備商的合作日益緊密，共同開發(fā)定制化靶材和配套工藝，以發(fā)揮最佳性能。武漢正在打造的“泛集成電路產(chǎn)業(yè)基地”便是這種協(xié)同模式的體現(xiàn)。
全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控：在實現(xiàn)4N-5N高純鈦靶材國產(chǎn)化的基礎(chǔ)上，向上游高純鈦原料（海綿鈦）冶煉技術(shù)延伸，構(gòu)建從原料到成品的完整、安全、有競爭力的供應(yīng)鏈體系，是行業(yè)的長期戰(zhàn)略目標(biāo)。
總而言之，顯示面板用鈦靶材正隨著全球顯示產(chǎn)業(yè)中心向中國轉(zhuǎn)移而迎來歷史性機遇。其技術(shù)發(fā)展路徑緊密圍繞 “更大”、“更勻”、“更省”、“更柔” 展開，在支撐現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)升級的同時，也為未來前沿顯示技術(shù)的突破提供關(guān)鍵的材料基礎(chǔ)。國產(chǎn)靶材企業(yè)憑借本地化服務(wù)、快速響應(yīng)和持續(xù)的技術(shù)創(chuàng)新，正在這一重要賽道上扮演越來越核心的角色。
