鉻靶材是裝飾與工具功能性鍍膜領域的核心基礎材料。通過物理氣相沉積(PVD)技術,鉻或其化合物薄膜被賦予基材表面,實現從提升美觀度到強化機械性能的多種功能。該領域技術門檻相對較低,市場已完全國產化且競爭激烈。
一、 定義與材質
定義:裝飾與工具功能性鍍膜用鉻靶材,主要指用于磁控濺射、電弧離子鍍等PVD工藝,以金屬鉻或鉻合金為主要成分的固態靶材。在真空腔體內,高能粒子轟擊靶材表面,使鉻原子或離子被激發出來,沉積在工件(如五金件、刀具)表面,形成一層兼具裝飾外觀或卓越機械性能的薄膜。
主要材質:
高純鉻靶材:純度為99.5%至99.99%的金屬鉻靶。這是應用最廣泛的基礎材質,通過反應濺射可制備多種色彩的裝飾膜或高硬度的工具膜。
鉻合金靶材:為獲得特定性能而開發。
鎳鉻合金靶材:如用于Low-E玻璃及薄膜電阻的鎳鉻合金靶,其標準(YS/T 1635-2023)要求純度大于99.5%。
其他復合靶材:根據[cite]資料,在工具涂層中,鉻/硅(Cr/Si)、鉻/鋁(Cr/Al) 等合金靶材已被大量采用,以追求更佳的膜層機械性質。在裝飾領域,鈦鋯(Ti-Zr)、碳化鎢(WC) 等也與鉻靶協同使用,形成帶色澤的耐磨表面。
二、 性能特點
該領域對鉻靶材的性能要求,緊密圍繞其最終鍍層的功能展開,核心在于色彩可控性、鍍膜穩定性、高硬度與強附著力。
優異的膜層色彩與光學性能:純鉻靶通過反應濺射(通入氮氣、氧氣、碳氫氣體等),可形成金黃、古銅、槍黑、烏黑等多種色調。開發新色彩能力是行業競爭的關鍵。對于黑色薄膜,要求光學參數L值低(如<35),且色度坐標a、b值接近中性。
高硬度與卓越的耐磨性:鉻的氮化物(如CrN)、碳化物(如CrC)薄膜具有極高的硬度,是工具鍍膜的核心。膜層厚度一般為2-10μm,要求高硬度、低磨損、耐沖擊。
良好的膜基結合力與耐腐蝕性:鉻膜與多種基材(金屬、陶瓷)附著力強,且其本身具有優異的抗氧化和耐腐蝕性能,能有效保護基體,延長工件壽命。高品質黑色裝飾膜的附著力可達最高等級(5B級),耐磨次數超過5000次。
環境友好性:與傳統電鍍硬鉻工藝相比,PVD鍍鉻技術無廢液排放,是一種清潔的表面處理技術,符合環保趨勢。
對靶材純度與致密度的基礎要求:雖然純度要求(通常99.5%-99.9%)遠低于半導體領域,但高純度和高致密度仍然是保證濺射過程穩定、減少顆粒污染、獲得均勻優質薄膜的基礎。
三、 執行標準
該領域靶材通常遵循基礎材料標準,并高度重視下游客戶的定制化規格。
行業與團體標準:對于特定合金靶材,有相應的標準出臺,如《YS/T 1635-2023 鎳鉻合金靶材》,規定了用于低輻射玻璃等的鎳鉻靶材的技術要求。
企業標準與客戶協議:由于裝飾和工具鍍膜產品多樣、需求各異,靶材的尺寸、形狀(平面靶、旋轉靶)、綁定方式及具體的成分微調,主要依據鍍膜廠家或終端品牌商的定制化技術協議。這使得產品具有高度的靈活性和針對性。
四、 加工工藝、關鍵技術及流程
高品質鉻靶材的制備關鍵在于實現高密度、高純度與微觀組織均勻性。
1. 核心加工流程:
原料(高純金屬鉻或合金配料)→ 成型制備(核心環節) → 熱處理(燒結或熱等靜壓)→ 機械加工(切割、車銑至精確尺寸)→ 背板焊接(與銅、鋁背板通過釬焊等方式結合)→ 表面處理與清洗 → 檢測與包裝。
2. 主要制備工藝與技術:
粉末冶金工藝:這是制備鉻靶材,尤其是合金靶和復合靶的主流方法。將高純鉻粉或合金粉末經過壓制、燒結(或熱等靜壓)制成高密度坯料。該工藝能有效解決鉻金屬脆性大、難熔鑄的問題,并易于實現成分均勻化。
熔煉鑄造工藝:對于高純鉻靶,可采用真空熔煉(如電子束熔煉)后鑄造、鍛造的工藝。但純鉻熔煉難度大,對設備要求高。
關鍵技術突破:傳統粉末冶金法使用電解鉻粉,成本高且需要昂貴的熱等靜壓設備。有新技術嘗試采用成本更低的鋁熱法鉻錠為原料,通過優化工藝路線來降低生產成本和周期。
五、 具體應用領域
| 應用領域 | 具體功能與作用 | 技術要求與工藝特點 |
| 高端裝飾鍍膜 | 1. 色彩裝飾:用于衛浴五金、門鎖、表殼、眼鏡架、手機中框等,提供仿金、槍黑、玫瑰金等持久亮麗的色彩,兼具耐磨抗刮特性。
2. 功能性黑膜:用于高端汽車裝飾件、醫療器械等,要求薄膜不僅顏色深邃(超黑低反射),且硬度高、附著力強。 | 色彩重現性與一致性是核心。工藝上常采用反應磁控濺射,精確控制反應氣體流量與功率。需解決靶材“中毒”導致的工藝不穩定問題。膜厚通常在1μm以下。 |
| 精密工具與模具鍍膜 | 1. 切削工具:在鉆頭、銑刀、齒輪刀具、絲錐等表面鍍覆CrN、CrAlN等硬質膜,大幅提高硬度、耐磨性和使用壽命。
2. 成型模具與機械部件:用于沖模、頂頭、注塑模具以及機械手關鍵部件,降低摩擦系數,提供防腐保護,增強熱穩定性。 | 追求膜層的極限機械性能。要求膜層與工具基體有極高的附著力,避免在沖擊載荷下剝落。常采用高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS) 等先進技術,以獲得更致密、結合力更強的膜層。 |
六、 與其他領域用鉻靶材的對比
| 對比維度 | 裝飾與工具鍍膜 | 半導體與微電子 | 光伏能源 | 磁記錄與儲能 | 航空航天 |
| 核心要求 | 色彩美學、高硬度、強附著力、高性價比。 | 極致純度(5N以上)、納米級均勻性、超低缺陷。決定電路性能與良率。 | 良好的導電性、與襯底附著力、成本控制。常用作阻擋層或背電極。 | 極致的磁性能、超平滑表面、特定晶體取向。 | 極端環境下的耐高溫、耐腐蝕、耐磨損及可靠性。 |
| 典型材質與純度 | 純鉻(99.5%-99.9%)、鉻合金(如NiCr)。 | 超高純鉻(99.995%以上)、鉻硅化物等。 | 高純鉻、鉻合金。純度要求次于半導體。 | 高純鉻、鈷鉻合金等,對純度要求高。 | 高純鉻、鉻鋁合金等,強調力學與化學性能。 |
| 膜層性質 | 裝飾膜:薄(<1μm),色彩豐富。工具膜:厚(2-10μm),超硬耐磨。 | 極薄(納米級),具有特定的電學(導電/阻值)或阻擋性能。 | 功能性薄膜,用于導電、保護或光學調節。 | 納米級磁性薄膜,用于數據存儲。 | 防護性涂層,耐高溫氧化、抗燒蝕、抗沖刷。 |
| 技術門檻與格局 | 技術門檻最低,市場完全國產化,競爭激烈。認證周期短(數月)。 | 技術門檻最高,長期被日美企業壟斷,國內正攻關。認證周期極長(2-3年)。 | 門檻適中,國內企業憑借性價比已占據主導。 | 門檻高,集中于少數專業企業。 | 門檻高,需滿足嚴苛的行業標準與認證,由頭部材料企業供應。 |
七、 未來發展新領域與方向
綠色清潔工藝與新材料開發:
針對傳統反應濺射制備黑色等裝飾膜時存在的靶中毒、工藝不穩定、腔體污染問題,開發新型非反應濺射的靶材(如碳基摻雜靶材)成為趨勢,以實現更綠色、穩定的鍍膜生產。
開發更多多元復合合金靶材(如Al/Cr/Si等),通過單一靶材實現薄膜性能的定制化與多功能集成,滿足更苛刻的應用需求。
先進鍍膜技術驅動靶材升級:
高功率脈沖磁控濺射(HiPIMS) 等先進技術能獲得性能更優異的Cr膜層。這反過來要求靶材具有更高的純度、更均勻的微觀結構和更穩定的濺射性能,推動中高端靶材產品升級。
拓展至新興高端消費品與智能制造領域:
隨著消費升級,可穿戴設備(智能手表、耳機)、高端電子產品外殼、汽車智能內飾件等對兼具美學、觸感和耐久性的表面處理需求激增,為裝飾鉻靶材帶來新市場。
在智能制造領域,高性能工業機器人關節、精密傳動部件、半導體封裝模具等對長效減摩、防腐、耐疲勞涂層需求強烈,是工具類鉻基靶材的高增長方向。
產業鏈整合與可持續發展:
頭部企業通過整合“原料提純-靶材制造-廢舊靶材回收”鏈條,以保障供應鏈安全并降低成本。開發更經濟的制備工藝(如使用低成本原料)仍是行業重要課題。