鎳靶材是一種用于物理氣相沉積(PVD)或濺射鍍膜工藝的高純度鎳材料,主要用于在基材表面形成功能性薄膜。關于鎳靶材的詳細介紹,凱澤金屬結合多年生產經驗及相關資料,分享如下:
1、主要應用領域
電子工業:
半導體器件中的導電層或阻擋層(如芯片互連)。
薄膜電路、顯示面板(OLED、LCD)的電極材料。
防腐與耐磨涂層:
航空航天、汽車零部件表面鍍鎳,提高耐腐蝕性。
工具、模具的耐磨鍍層。
裝飾鍍膜:
珠寶、衛浴五金等表面裝飾性鍍層。
新能源領域:
鋰電池集流體、燃料電池催化層等。

2、關鍵性能指標
純度:半導體級要求≥99.995%(5N5),工業級通常≥99.9%。
密度:高密度(接近理論值8.9g/cm3)以減少濺射孔隙。
晶粒尺寸:細小均勻的晶??商岣咤兡ぞ鶆蛐裕ㄍǔP杩刂茷槲⒚准墸?。
雜質控制:嚴格限制氧、硫、碳等雜質,避免影響薄膜性能。
3、生產工藝流程
熔煉提純:真空感應熔煉(VIM)或電子束熔煉(EBM)去除雜質。
成型加工:
鑄造或熱等靜壓(HIP)制成坯料。
軋制、鍛造改善結構致密性。
機械加工:切割、研磨至目標尺寸(如Φ200mm×6mm)。
綁定背板:與銅/鋁背板焊接,增強散熱與機械強度。
表面處理:拋光、清洗,確保無污染。

4、技術挑戰
純度控制:需避免熔煉過程中的雜質引入。
晶粒細化:通過熱處理或塑性變形優化微觀結構。
殘余應力:加工過程中可能產生應力,需退火處理。
綁定工藝:靶材與背板的熱膨脹系數需匹配,防止脫落。
5、常見規格與標準
形狀:圓形、矩形、管狀等。
尺寸:直徑可達500mm以上,厚度通常3-10mm。
標準:符合ASTM B906、JIS H2118等國際標準。
6、市場與供應鏈
主要生產商:
海外:JX日礦金屬、霍尼韋爾(美國)、普萊克斯(Praxair)。
國內:江豐電子、有研新材、隆華科技、凱澤金屬等。
價格因素:受鎳金屬行情、純度及加工難度影響,半導體級價格顯著高于工業級。

7、環保與安全
健康風險:鎳及其化合物可能致敏,操作需佩戴防護裝備。
回收利用:廢靶材可通過重熔提純再生,降低資源消耗。
若需進一步了解鎳靶材的特定應用案例或技術參數,請通過以下方式,與靶材生產廠家-凱澤金屬聯系。
寶雞市凱澤金屬材料有限公司
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